This HTML5 document contains 17 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
n12http://fizikaiszemle.hu/archivum/fsz1309/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n11http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n14http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n6http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:
n9http://tudasbazis.sulinet.hu/hu/szakkepzes/gepeszet/gepeszeti-szakismeretek-1/feluletek-kemiai-reteglevalasztasa/

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Atomi_rétegleválasztás
rdfs:label
Atomi rétegleválasztás
dct:subject
n6:Nanotechnológia
dbo:wikiPageID
1553793
dbo:wikiPageRevisionID
20747393
dbo:wikiPageExternalLink
n9:bevonatolas-atomi-reteglevalasztas n12:Baji-Mikula.pdf%7Cformat=PDF%7Cjournal=
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n11:Cite_journal n11:! n11:Fordítás n11:Cite_web n11:Reflist n14:Nanolitográfia
dbo:abstract
Az atomi rétegleválasztás (angol rövidítéssel ALD, atomic layer deposition) egy módszer a - és nanotechonlógiában. Az eljárás során gáz fázisban végbemenő kémiai reakciók segítségével atomi rétegenként alakítják ki egy hordozó felületén a vékonyréteget. Gyakran alkalmazott megvalósítása az ALCVD (atomic layer chemical vapor deposition), mely a kémiai gőzfázisú leválasztások csoportjába tartozik.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Atomi_rétegleválasztás?oldid=20747393&ns=0
dbo:wikiPageLength
7307
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Atomi_rétegleválasztás
Subject Item
wikipedia-hu:Atomi_rétegleválasztás
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Atomi_rétegleválasztás