This HTML5 document contains 56 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n9http://www.ece.utah.edu/~blair/T/ece7960/papers/
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
n16https://me.jhu.edu/thwang/notes/
n12http://alag3.mfa.kfki.hu/mfa/nyariiskola/02b_STM_Nanolitografia/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
n10http://www.atomcsill.elte.hu/letoltes/foliak/6_evf/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n11http://www.princeton.edu/~chouweb/publications/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n6https://doi.org/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n14http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n19https://www.researchgate.net/profile/Laurence_Ferlazzo/publication/222021998_Electron_beam_lithography_resolution_limits_and_applications/links/0046352ec42f28c646000000/
n18http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Nanolitográfia
rdfs:label
Nanolitográfia
dct:subject
n18:Nanotechnológia
dbo:wikiPageID
1460570
dbo:wikiPageRevisionID
23550805
dbo:wikiPageExternalLink
n6:10.1109%2Fjproc.2007.911853%7Caccessdate=2017-04-20%7Clast2=Chou%7Cfirst2=S.Y. n9:chou96nl.pdf%7Caccessdate=2017-04-20%7Cpage=4129 n10:atomcsill_6_13_Havancsak_Karoly.pdf%7Ctitle=A n6:10.1080%2F00107518108231531%7Caccessdate=2017-04-20 n11:70%20Chou_Imprint%20Lithography%20Nanometer%20Resolution_Science_1996.pdf%7Caccessdate=2017-04-20 n6:10.1116%2F1.568515%7Caccessdate=2017-04-20 n12:%7Ctitle=STM n16:Soft%20Lithography.pdf%7Cformat=PDF%7Caccessdate=2017-04-19%7Clast2=Whitesides%7Cfirst2=George n19:Electron-beam-lithography-resolution-limits-and-applications.pdf%7Caccessdate=2017-04-20%7Clast2=Carcenac%7Cfirst2=F.%7Clast3=P
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n5:Cite_web n5:Href n5:Bővebben n5:! n5:Reflist n14:Nanolitográfia n5:Cite_journal n5:Cite_book n5:Portál
prop-hu:first
Martin Bharat N. P. David Jeremy
prop-hu:isbn
978
prop-hu:last
Mahalik Feldman Bhushan Ramsden Bucknall
prop-hu:location
Berlin Oxford Cambridge Boca Raton, FL Berlin New York
prop-hu:publisher
Elsevier/William Andrew Woodhead Publishing dbpedia-hu:Springer_(egyértelműsítő_lap) Woodhead Pub. CRC Press
prop-hu:title
Nanotechnology : an introduction Micromanufacturing and nanotechnology Nanolithography and patterning techniques in microelectronics Springer handbook of nanotechnology Nanolithography : the art of fabricating nanoelectronics, nanophotonics and nanobiology devices and systems
prop-hu:year
2014 2010 2016 2006 2005
dbo:abstract
A nanolitográfia nanotechnológiai eljárások egy csoportjának összefoglaló neve, amelyek nanoméretű objektumok, például nanoszerkezetek és az azokat befoglaló elektromechanikai eszközök előállítására alkalmazhatók. Az ilyen eljárások jellemzően egy maszkon át történő besugárzással, vagy a felület közvetlen módosításával, illetve szelektív felületkezeléssel történnek. Egyes típusait soros (egymás után történő), másokat párhuzamos (egyszerre több azonos szerkezetet kialakító) módban végzik. A kifejezés a litográfiával azaz a kőnyomattal köthető analógia alapján terjedt el a - és a nanotechnológia nemzetközi szaknyelvében. Igen sokféle litográfiás eljárást ismerünk nanoszerkezetek előállítására, és továbbiak állnak kutatás alatt. A fejlesztések hajtóereje elsősorban a iránti igény, de szerepe az alapkutatásban, illetve újfajta, az anyag alapvető építőkövekből való építésével kapcsolatos anyagtudományi kutatásokban is fontos. A processzorgyártásban, és más félvezetőipari eljárásokban alkalmazott fotolitográfia széles körben elterjedt, de az egyre kisebb vonalszélességű alkalmazásoknál már láthatók ennek a felbontásbeli határai. Az optikai eljárások diffrakciós határának átlépésére számos módszert igyekeznek kifejleszteni. E téren egyelőre nagy áttörés nem történt, de azt sokan a következő évtizedekre várják.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Nanolitográfia?oldid=23550805&ns=0
dbo:wikiPageLength
9223
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Nanolitográfia
Subject Item
wikipedia-hu:Nanolitográfia
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Nanolitográfia