This HTML5 document contains 62 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
n13https://www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
n14https://web.archive.org/web/20180428012111/http:/fizipedia.bme.hu/index.php/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
n24http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Hivatkozás/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n7https://www.researchgate.net/profile/Mario_Birkholz/publication/260086272_Table_of_contents__Preface/file/
n4http://www.svc.org/assets/file/
n22http://darkage.org/darkage/letolt/Pdf%20iratok/
n17https://web.archive.org/web/20180428093415/http:/darkage.org/darkage/letolt/Pdf%20iratok/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n16http://www.cnc.hu/2012/08/szerszam-bevonatolasi-eljarasok/
n9https://web.archive.org/web/20130606063901/http:/www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/
n15http://fizipedia.bme.hu/index.php/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n23http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n12http://szepes.web.elte.hu/
n11http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:
n21http://titan.physx.u-szeged.hu/tamop411c/public_html/HU%20-%20Optikai%20alapok%20az%20ELI-ALPS%20t%C3%BCkr%C3%A9ben%20I.%20-%20Msc%20(e-learning)/

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Vékonyréteg-leválasztás
rdfs:label
Vékonyréteg-leválasztás
dct:subject
n11:Nanotechnológia
dbo:wikiPageID
1462069
dbo:wikiPageRevisionID
22939861
dbo:wikiPageExternalLink
n4:HISTORYA.PDF n7:e2e7e52f7724f3575f.pdf n9:%7Carchivedate=2013-06-06 n12:FOKLAB2011_10.pdf%7Ctitle=X. n13:%7Ctitle=Korszer%C5%B1 n14:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%23V.C3.A1kuumporlaszt.C3.A1s%7Carchivedate=2018-04-28 n15:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%23V.C3.A1kuumporlaszt.C3.A1s%7Ctitle=V%C3%A9konyr%C3%A9teg n16:%7Ctitle=Szersz%C3%A1m n17:FeluletModositas.pdf%7Carchivedate=2018-04-28 n21:kmiai_gzfzis_levlaszts_cvd.html%7Ctitle=K%C3%A9miai n22:FeluletModositas.pdf%7Caccessdate=2018-04-26%7Cauthor=Bert%C3%B3ti n13:6.pdf%7Ctitle=6.
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n6:! n6:Portál n6:Cite_web n6:H n6:Href n6:Reflist n6:CitLib n23:Nanolitográfia n6:Bővebben n24:Könyv
prop-hu:author
K. Seshan, ed. D.M. Mattox M. Ohring M. Birkholz, with contributions by P.F. Fewster and C. Genzel
prop-hu:cím
Szilárdtestek felületfizikája
prop-hu:edition
2 3.0
prop-hu:hely
Budapest
prop-hu:isbn
9780125249751 978 0 9789631071115
prop-hu:kiadó
Műszaki Könyvkiadó
prop-hu:location
Norwich Boston Amsterdam Weinheim
prop-hu:publisher
Elsevier Wiley-VCH Academic Press Noyes / William Andrew Publishing
prop-hu:szerző
Giber János és szerzőtársai
prop-hu:title
Materials Science of Thin Films Thin Film Analysis by X-Ray Scattering Handbook of Thin Film Deposition n4:HISTORYA.PDF
prop-hu:year
2012 2003 2001 2005
prop-hu:év
1987
dbo:abstract
A mikro- és nanotechnológiában vékonyréteg-leválasztásnak azt a folyamatot nevezik, amikor fizikai vagy kémiai reakció segítségével egy anyag (hordozó) felületén vékonyréteg épülését idézik elő. A réteg épülése tipikusan néhányszor tíz-száz nanométeres mérettartományon kontrollálható, de például atomi rétegek is leválaszthatók. Az eljárást többek között optikai elemek gyártásakor (például reflexiós, vagy , dielektrikumtükrök kialakítására), elektronikában és (az integrált áramkörök egymáson kialakított vezető, félvezető és szigetelő rétegekből állnak), csomagolástechnikában (például alumíniumbevonatos PET fólia) alkalmazzák. A rétegleválasztási eljárások két alapvető kategóriába sorolhatók. A vékonyréteg létrejöttét meghatározó folyamat szerint megkülönböztetnek kémiai és fizikai elvű rétegleválasztásokat.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Vékonyréteg-leválasztás?oldid=22939861&ns=0
dbo:wikiPageLength
20189
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Vékonyréteg-leválasztás
Subject Item
wikipedia-hu:Vékonyréteg-leválasztás
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Vékonyréteg-leválasztás