| Property |
Value |
| dbo:abstract
|
- A mikro- és nanotechnológiában vékonyréteg-leválasztásnak azt a folyamatot nevezik, amikor fizikai vagy kémiai reakció segítségével egy anyag (hordozó) felületén vékonyréteg épülését idézik elő. A réteg épülése tipikusan néhányszor tíz-száz nanométeres mérettartományon kontrollálható, de például atomi rétegek is leválaszthatók. Az eljárást többek között optikai elemek gyártásakor (például reflexiós, vagy , dielektrikumtükrök kialakítására), elektronikában és (az integrált áramkörök egymáson kialakított vezető, félvezető és szigetelő rétegekből állnak), csomagolástechnikában (például alumíniumbevonatos PET fólia) alkalmazzák. A rétegleválasztási eljárások két alapvető kategóriába sorolhatók. A vékonyréteg létrejöttét meghatározó folyamat szerint megkülönböztetnek kémiai és fizikai elvű rétegleválasztásokat. (hu)
- A mikro- és nanotechnológiában vékonyréteg-leválasztásnak azt a folyamatot nevezik, amikor fizikai vagy kémiai reakció segítségével egy anyag (hordozó) felületén vékonyréteg épülését idézik elő. A réteg épülése tipikusan néhányszor tíz-száz nanométeres mérettartományon kontrollálható, de például atomi rétegek is leválaszthatók. Az eljárást többek között optikai elemek gyártásakor (például reflexiós, vagy , dielektrikumtükrök kialakítására), elektronikában és (az integrált áramkörök egymáson kialakított vezető, félvezető és szigetelő rétegekből állnak), csomagolástechnikában (például alumíniumbevonatos PET fólia) alkalmazzák. A rétegleválasztási eljárások két alapvető kategóriába sorolhatók. A vékonyréteg létrejöttét meghatározó folyamat szerint megkülönböztetnek kémiai és fizikai elvű rétegleválasztásokat. (hu)
|
| dbo:wikiPageExternalLink
| |
| dbo:wikiPageID
| |
| dbo:wikiPageLength
|
- 20189 (xsd:nonNegativeInteger)
|
| dbo:wikiPageRevisionID
| |
| prop-hu:author
|
- D.M. Mattox (hu)
- M. Ohring (hu)
- K. Seshan, ed. (hu)
- M. Birkholz, with contributions by P.F. Fewster and C. Genzel (hu)
- D.M. Mattox (hu)
- M. Ohring (hu)
- K. Seshan, ed. (hu)
- M. Birkholz, with contributions by P.F. Fewster and C. Genzel (hu)
|
| prop-hu:cím
|
- Szilárdtestek felületfizikája (hu)
- Szilárdtestek felületfizikája (hu)
|
| prop-hu:edition
| |
| prop-hu:hely
|
- Budapest (hu)
- Budapest (hu)
|
| prop-hu:isbn
|
- 0 (xsd:integer)
- 978 (xsd:integer)
- 9780125249751 (xsd:decimal)
- 9789631071115 (xsd:decimal)
|
| prop-hu:kiadó
|
- Műszaki Könyvkiadó (hu)
- Műszaki Könyvkiadó (hu)
|
| prop-hu:location
|
- Boston (hu)
- Amsterdam (hu)
- Norwich (hu)
- Weinheim (hu)
- Boston (hu)
- Amsterdam (hu)
- Norwich (hu)
- Weinheim (hu)
|
| prop-hu:publisher
|
- Academic Press (hu)
- Elsevier (hu)
- Noyes / William Andrew Publishing (hu)
- Wiley-VCH (hu)
- Academic Press (hu)
- Elsevier (hu)
- Noyes / William Andrew Publishing (hu)
- Wiley-VCH (hu)
|
| prop-hu:szerző
|
- Giber János és szerzőtársai (hu)
- Giber János és szerzőtársai (hu)
|
| prop-hu:title
| |
| prop-hu:wikiPageUsesTemplate
| |
| prop-hu:year
|
- 2001 (xsd:integer)
- 2003 (xsd:integer)
- 2005 (xsd:integer)
- 2012 (xsd:integer)
|
| prop-hu:év
| |
| dct:subject
| |
| rdfs:label
|
- Vékonyréteg-leválasztás (hu)
- Vékonyréteg-leválasztás (hu)
|
| prov:wasDerivedFrom
| |
| foaf:isPrimaryTopicOf
| |
| is foaf:primaryTopic
of | |
