| dbo:abstract
|
- Az ellipszometria egy olyan, érintés- és roncsolásmentes optikai vizsgálati módszer, amellyel a nagyon vékony, akár nanométeres vastagságú rétegek, dielektrikumok fizikai sajátosságait lehet mérni, az anyag felületére bocsátott, majd onnan visszaverődő polarizált fény optikai jellemzőit vizsgálva. Az ellipszometria vizsgálati módszer roncsolásmentes, mivel kis energiájú fénysugarat használnak. A vizsgálatot számos területen alkalmazzák, félvezetőipartól a biológiáig. Az ellipszometriában a fény polarizációjának változásából nyerhető információ, ahol a vizsgáló fény hullámhosszánál vékonyabb rétegek vizsgálhatók, akár egy atom vastagságig. A vizsgálat a komplex refraktív index vagy a dielektrikus függvény tenzorát értékeli ki, amelyek alapvető paraméterekről adnak információt, mint például morfológiára, kristály minőségre, kémiai összetételre, vagy az elektromos vezetőképességre. Általánosan használt eljárás vékony rétegek jellemzőinek mérése angström vagy tized-nanométeres vastagságtól egészen mikrométerekig, kiváló pontossággal. Az „ellipszometria” név onnan származik, hogy a legtöbb polarizációs állapot elliptikus. A technika közel egy évszázada ismert, manapság számos alkalmazása ismert. Biológiai és orvosi kutatások területén gyakran használt eljárás, ahol az instabil folyadék felszínek mérésénél és mikroszkopikus megjelenítésnél jól használható. (hu)
- Az ellipszometria egy olyan, érintés- és roncsolásmentes optikai vizsgálati módszer, amellyel a nagyon vékony, akár nanométeres vastagságú rétegek, dielektrikumok fizikai sajátosságait lehet mérni, az anyag felületére bocsátott, majd onnan visszaverődő polarizált fény optikai jellemzőit vizsgálva. Az ellipszometria vizsgálati módszer roncsolásmentes, mivel kis energiájú fénysugarat használnak. A vizsgálatot számos területen alkalmazzák, félvezetőipartól a biológiáig. Az ellipszometriában a fény polarizációjának változásából nyerhető információ, ahol a vizsgáló fény hullámhosszánál vékonyabb rétegek vizsgálhatók, akár egy atom vastagságig. A vizsgálat a komplex refraktív index vagy a dielektrikus függvény tenzorát értékeli ki, amelyek alapvető paraméterekről adnak információt, mint például morfológiára, kristály minőségre, kémiai összetételre, vagy az elektromos vezetőképességre. Általánosan használt eljárás vékony rétegek jellemzőinek mérése angström vagy tized-nanométeres vastagságtól egészen mikrométerekig, kiváló pontossággal. Az „ellipszometria” név onnan származik, hogy a legtöbb polarizációs állapot elliptikus. A technika közel egy évszázada ismert, manapság számos alkalmazása ismert. Biológiai és orvosi kutatások területén gyakran használt eljárás, ahol az instabil folyadék felszínek mérésénél és mikroszkopikus megjelenítésnél jól használható. (hu)
|
