| dbo:abstract
|
- Az excimerlézer a kémiai lézerek egyik típusa, mely koherens UV-nyalábot állít elő. Alkalmazása az iparban igen elterjedt, fontos eszköz a , az integrált áramkörök gyártása során, és a modern TFT-gyárakban. Az excimerlézer a nevét az , azaz gerjesztett dimerekről kapta. (hu)
- Az excimerlézer a kémiai lézerek egyik típusa, mely koherens UV-nyalábot állít elő. Alkalmazása az iparban igen elterjedt, fontos eszköz a , az integrált áramkörök gyártása során, és a modern TFT-gyárakban. Az excimerlézer a nevét az , azaz gerjesztett dimerekről kapta. (hu)
|
