| Property |
Value |
| dbo:abstract
|
- A katódporlasztás vékonyrétegek előállítására szolgáló eljárás. Alapja egy ritkított térben, két elektróda között létrehozott önfenntartó villamos kisülés, plazma létrehozása, ahol az elektronok felgyorsulnak és ütköznek a többnyire nemesgáz atomokkal, amelyekről további elektronokat szakítanak le. Az így keletkezett pozitív ionok az erőtér gyorsításának hatására a katódba csapódnak és amennyiben energiájuk nagyobb a kötési energiánál, atomokat löknek ki onnan. Az így kilökött atomok a katód alatt elhelyezkedő anódon lévő hordozóra csapódnak. A folyamat feltétele a plazma létrejötte. (hu)
- A katódporlasztás vékonyrétegek előállítására szolgáló eljárás. Alapja egy ritkított térben, két elektróda között létrehozott önfenntartó villamos kisülés, plazma létrehozása, ahol az elektronok felgyorsulnak és ütköznek a többnyire nemesgáz atomokkal, amelyekről további elektronokat szakítanak le. Az így keletkezett pozitív ionok az erőtér gyorsításának hatására a katódba csapódnak és amennyiben energiájuk nagyobb a kötési energiánál, atomokat löknek ki onnan. Az így kilökött atomok a katód alatt elhelyezkedő anódon lévő hordozóra csapódnak. A folyamat feltétele a plazma létrejötte. (hu)
|
| dbo:wikiPageExternalLink
| |
| dbo:wikiPageID
| |
| dbo:wikiPageInterLanguageLink
| |
| dbo:wikiPageLength
|
- 14652 (xsd:nonNegativeInteger)
|
| dbo:wikiPageRevisionID
| |
| prop-hu:author
|
- William D. Westwood (hu)
- William D. Westwood (hu)
|
| prop-hu:isbn
| |
| prop-hu:title
|
- Sputter Deposition, AVS Education Committee Book Series, Vol. 2 (hu)
- Sputter Deposition, AVS Education Committee Book Series, Vol. 2 (hu)
|
| prop-hu:wikiPageUsesTemplate
| |
| prop-hu:year
| |
| dct:subject
| |
| rdfs:label
|
- Katódporlasztás (hu)
- Katódporlasztás (hu)
|
| owl:sameAs
| |
| prov:wasDerivedFrom
| |
| foaf:isPrimaryTopicOf
| |
| is foaf:primaryTopic
of | |
