| dbo:abstract
|
- A Knudsen-cella a mikro- és nanotechnológiában alkalmazott részecskeforrás, mellyel bizonyos preparálási eljárásokhoz szükséges részecskenyaláb hozható lére. Segítségével kis parciális gőznyomású anyagok (pl. Ga, Al, Hg, As) gőze állítható elő és alkalmazható például (Molecular Beam Epitaxy, MBE). Nevét (1871–1949) dán fizikusról kapta, aki a Dán Műszaki Egyetemen végzett kísérleteket a témában. A Knudsen-cellában a párologtatandó anyagot egy kerámiaedényben helyezik el általában szilárd halmazállapotban. A kerámiaedényt fűtőtekercs veszi körül, az eszköz ezen kívül vízhűtéses rendszerrel és tokozással rendelkezik. Az MBE készülékben általában több Knudsen-cella is elhelyezésre kerül, így a rétegleválasztáskor a felületre több elem kombinációja is kerülhet. Az egyes cellák egyesével zárhatók annak megfelelően, hogy a folyamat mit kíván. (hu)
- A Knudsen-cella a mikro- és nanotechnológiában alkalmazott részecskeforrás, mellyel bizonyos preparálási eljárásokhoz szükséges részecskenyaláb hozható lére. Segítségével kis parciális gőznyomású anyagok (pl. Ga, Al, Hg, As) gőze állítható elő és alkalmazható például (Molecular Beam Epitaxy, MBE). Nevét (1871–1949) dán fizikusról kapta, aki a Dán Műszaki Egyetemen végzett kísérleteket a témában. A Knudsen-cellában a párologtatandó anyagot egy kerámiaedényben helyezik el általában szilárd halmazállapotban. A kerámiaedényt fűtőtekercs veszi körül, az eszköz ezen kívül vízhűtéses rendszerrel és tokozással rendelkezik. Az MBE készülékben általában több Knudsen-cella is elhelyezésre kerül, így a rétegleválasztáskor a felületre több elem kombinációja is kerülhet. Az egyes cellák egyesével zárhatók annak megfelelően, hogy a folyamat mit kíván. (hu)
|
