| dbo:abstract
|
- A mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) (vagy mikroelektronikai és mikroelektromechanikai rendszerek), valamint a kapcsolódó mikromechatronikai és mikrorendszerek a mikroszkopikus méretű, különösen mozgó alkatrészekkel rendelkező eszközök technológiáját alkotják. Ezek a nanoszintű méretekben nanoelektromechanikai rendszerekbe (NEMS) és nanotechnológiába olvadnak össze. A MEMS-eket Japánban mikrogépeknek, Európában pedig mikrorendszer-technológiának (MST) is nevezik. A MEMS-ek 1 és 100 mikrométer (azaz 0,001-0,1 mm) közötti méretű alkatrészekből állnak, és a MEMS-eszközök mérete általában 20 mikrométer és egy milliméter (azaz 0,02-1,0 mm) között mozog, bár a tömbökbe rendezett alkatrészek (pl. digitális mikrotükrös eszközök) mérete meghaladhatja az 1000 mm²-t is. Általában egy központi egységből állnak, amely az adatokat feldolgozza (integrált áramköri chip, például mikroprocesszor), és több, a környezettel kölcsönhatásba lépő komponensből (például mikroérzékelők). A MEMS-ek nagy felület/térfogat aránya miatt a környezeti elektromágnesesség (pl. elektrosztatikus töltések és mágneses momentumok) és a folyadékdinamika (pl. felületi feszültség és viszkozitás) által keltett erők fontosabb tervezési szempontok, mint a nagyobb méretű mechanikus eszközök esetében. A MEMS-technológia abban különbözik a molekuláris nanotechnológiától vagy a molekuláris elektronikától, hogy az utóbbinak a felületi kémiát is figyelembe kell vennie. A nagyon kicsi gépekben rejlő lehetőségeket már azelőtt felismerték, hogy létezett volna az ezek előállítására alkalmas technológia (lásd például Richard Feynman híres 1959-es There's Plenty of Room at the Bottom című előadását). A MEMS-ek akkor váltak gyakorlati hasznosíthatóvá, amikor már elő lehetett állítani őket a módosított félvezetőeszköz-gyártási technológiákkal, amelyeket általában az elektronika előállításához használnak. Ezek közé tartozik az öntés és a galvanizálás, a nedves maratás (KOH, TMAH) és a száraz maratás (RIE és DRIE), az elektromos kisüléses megmunkálás (EDM) és más, kis méretű eszközök gyártására alkalmas technológiák. (hu)
- A mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) (vagy mikroelektronikai és mikroelektromechanikai rendszerek), valamint a kapcsolódó mikromechatronikai és mikrorendszerek a mikroszkopikus méretű, különösen mozgó alkatrészekkel rendelkező eszközök technológiáját alkotják. Ezek a nanoszintű méretekben nanoelektromechanikai rendszerekbe (NEMS) és nanotechnológiába olvadnak össze. A MEMS-eket Japánban mikrogépeknek, Európában pedig mikrorendszer-technológiának (MST) is nevezik. A MEMS-ek 1 és 100 mikrométer (azaz 0,001-0,1 mm) közötti méretű alkatrészekből állnak, és a MEMS-eszközök mérete általában 20 mikrométer és egy milliméter (azaz 0,02-1,0 mm) között mozog, bár a tömbökbe rendezett alkatrészek (pl. digitális mikrotükrös eszközök) mérete meghaladhatja az 1000 mm²-t is. Általában egy központi egységből állnak, amely az adatokat feldolgozza (integrált áramköri chip, például mikroprocesszor), és több, a környezettel kölcsönhatásba lépő komponensből (például mikroérzékelők). A MEMS-ek nagy felület/térfogat aránya miatt a környezeti elektromágnesesség (pl. elektrosztatikus töltések és mágneses momentumok) és a folyadékdinamika (pl. felületi feszültség és viszkozitás) által keltett erők fontosabb tervezési szempontok, mint a nagyobb méretű mechanikus eszközök esetében. A MEMS-technológia abban különbözik a molekuláris nanotechnológiától vagy a molekuláris elektronikától, hogy az utóbbinak a felületi kémiát is figyelembe kell vennie. A nagyon kicsi gépekben rejlő lehetőségeket már azelőtt felismerték, hogy létezett volna az ezek előállítására alkalmas technológia (lásd például Richard Feynman híres 1959-es There's Plenty of Room at the Bottom című előadását). A MEMS-ek akkor váltak gyakorlati hasznosíthatóvá, amikor már elő lehetett állítani őket a módosított félvezetőeszköz-gyártási technológiákkal, amelyeket általában az elektronika előállításához használnak. Ezek közé tartozik az öntés és a galvanizálás, a nedves maratás (KOH, TMAH) és a száraz maratás (RIE és DRIE), az elektromos kisüléses megmunkálás (EDM) és más, kis méretű eszközök gyártására alkalmas technológiák. (hu)
|
