| dbo:abstract
|
- A maradékgáz-analizátor (nemzetközi rövidítésben RGA – residual gas analyzer) egy speciális spektrométer, amely olyan gázok kémiai összetételét vizsgálja, melyek alacsony nyomásnak vannak kitéve. Az RGA tulajdonképpen a gáz különféle összetevőit ionizálja, majd meghatározza a töltésmennyiség/tömeg hányadost. A folyamat vákuumban nagyobb hatásfokkal megy végbe, ahol a zavaró tényezők és a szennyeződések a rendkívül kis nyomás miatt könnyebben kiküszöbölhetők. Az RGA jelentősége többek közt az, hogy:
* segít analizálni a különféle gázfázis-reakciókat
* lehetővé teszi a gáz számos állapotában történő minőségi és mennyiségi elemzést. Az ilyen jellegű információk más módszerekkel rendszerint nem vagy csak kis hatékonysággal lennének feltárhatók. Az RGA öt főbb részegységgel rendelkezik:
* Ionizáló
* Elektrosztatikus lencsék
* Szűrők és tömeganalizátor
* Iondetektor
* Tömegspektrométer Az RGA működése fogalmilag meglehetősen egyszerű, bár matematikailag levezetni a kvadrupól tömeganalizátor elvi működését, illetve a részfolyamatok értelmezését, azt bonyolulttá teheti. A metódus folyamatában először a semleges gázatomok (vagy molekula) pozitív töltésű kationokká alakulnak át, egy finoman szabályzott elektromos potenciált generáló kompartmentben. Ezen ionokat később egy sor ún. elektrosztatikus lencse gyorsítja fel és koherenssé alakítja, mintegy 20 eV nagyságú ionáramot képezve. Ez belép az ún. kvadrupól tömeganalizátor régióba, amely tulajdonképpeni szűrőként működik. Az ionok jelentős hányada átjut ezen a részen, azon része amelyik nem, semlegessé válik és a falon kívül kerül. Az ionáram, amelyik áthalad ezen a részen, egy Faraday-pohár révén koncentrálódik vagy egy másodlagos elektronsokszorozó fogja fel (channeltron). Ez nagyban felerősíti az ionáramból származó jelet, következésképp növeli az RGA érzékenységét. Megfelelő tömeg / töltésmennyiség arányt kiválasztva, a vizsgálat során azonnal lehet következtetni az RGA ionizáló régiójában lévő molekulák mennyiségére. (hu)
- A maradékgáz-analizátor (nemzetközi rövidítésben RGA – residual gas analyzer) egy speciális spektrométer, amely olyan gázok kémiai összetételét vizsgálja, melyek alacsony nyomásnak vannak kitéve. Az RGA tulajdonképpen a gáz különféle összetevőit ionizálja, majd meghatározza a töltésmennyiség/tömeg hányadost. A folyamat vákuumban nagyobb hatásfokkal megy végbe, ahol a zavaró tényezők és a szennyeződések a rendkívül kis nyomás miatt könnyebben kiküszöbölhetők. Az RGA jelentősége többek közt az, hogy:
* segít analizálni a különféle gázfázis-reakciókat
* lehetővé teszi a gáz számos állapotában történő minőségi és mennyiségi elemzést. Az ilyen jellegű információk más módszerekkel rendszerint nem vagy csak kis hatékonysággal lennének feltárhatók. Az RGA öt főbb részegységgel rendelkezik:
* Ionizáló
* Elektrosztatikus lencsék
* Szűrők és tömeganalizátor
* Iondetektor
* Tömegspektrométer Az RGA működése fogalmilag meglehetősen egyszerű, bár matematikailag levezetni a kvadrupól tömeganalizátor elvi működését, illetve a részfolyamatok értelmezését, azt bonyolulttá teheti. A metódus folyamatában először a semleges gázatomok (vagy molekula) pozitív töltésű kationokká alakulnak át, egy finoman szabályzott elektromos potenciált generáló kompartmentben. Ezen ionokat később egy sor ún. elektrosztatikus lencse gyorsítja fel és koherenssé alakítja, mintegy 20 eV nagyságú ionáramot képezve. Ez belép az ún. kvadrupól tömeganalizátor régióba, amely tulajdonképpeni szűrőként működik. Az ionok jelentős hányada átjut ezen a részen, azon része amelyik nem, semlegessé válik és a falon kívül kerül. Az ionáram, amelyik áthalad ezen a részen, egy Faraday-pohár révén koncentrálódik vagy egy másodlagos elektronsokszorozó fogja fel (channeltron). Ez nagyban felerősíti az ionáramból származó jelet, következésképp növeli az RGA érzékenységét. Megfelelő tömeg / töltésmennyiség arányt kiválasztva, a vizsgálat során azonnal lehet következtetni az RGA ionizáló régiójában lévő molekulák mennyiségére. (hu)
|
