This HTML5 document contains 50 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
n15https://www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
n6https://web.archive.org/web/20180428012111/http:/fizipedia.bme.hu/index.php/
n16http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Hivatkozás/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n18http://www.svc.org/assets/file/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n10http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n11https://web.archive.org/web/20130606063901/http:/www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n12http://fizipedia.bme.hu/index.php/
n14http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n4http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Fizikai_gőzfázisú_leválasztás
rdfs:label
Fizikai gőzfázisú leválasztás
dct:subject
n4:Ipari_technológia n4:Nanotechnológia
dbo:wikiPageID
1551281
dbo:wikiPageRevisionID
22775118
dbo:wikiPageExternalLink
n6:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%23V.C3.A1kuumporlaszt.C3.A1s%7Carchivedate=2018-04-28 n11:%7Carchivedate=2013-06-06 n12:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%23V.C3.A1kuumporlaszt.C3.A1s%7Ctitle=V%C3%A9konyr%C3%A9teg n15:%7Ctitle=Korszer%C5%B1 n18:HISTORYA.PDF
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n10:Bővebben n14:Nanolitográfia n10:CitLib n10:Cite_book n16:Könyv n10:Cite_journal n10:Cite_web n10:ISBN n10:Reflist
prop-hu:author
M. Ohring D.M. Mattox
prop-hu:cím
Szilárdtestek felületfizikája
prop-hu:edition
2
prop-hu:first
Rainer
prop-hu:hely
Budapest
prop-hu:isbn
9789631071115 978 9780125249751 0
prop-hu:kiadó
Műszaki Könyvkiadó
prop-hu:last
Waser
prop-hu:location
Boston Norwich
prop-hu:oclc
50056108
prop-hu:publisher
Academic Press dbpedia-hu:Wiley Noyes / William Andrew Publishing
prop-hu:szerző
Giber János és szerzőtársai
prop-hu:title
Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices n18:HISTORYA.PDF Materials Science of Thin Films
prop-hu:year
2003 2001
prop-hu:év
1987
prop-hu:publicationPlace
Weinheim
dbo:abstract
A fizikai gőzfázisú leválasztás (angol rövidítéssel PVD, physical vapor deposition) a vékonyréteg-leválasztás egy lehetséges módszere, amelyet vékonyrétegek kialakítására alkalmaznak a - és a nanotechnológiában. A PVD-módszerek általános jellemzője az, hogy egy kezdetben jellemzően szilárd vagy folyékony halmazállapotban levő anyagot gőzfázisba juttatnak, mely egy kívánt hordozó felületén újra szilárd állapotba jut, így alakítva ki a felületi réteget. A PVD sokféleképpen valósítható meg. Az egyes módszerek általában abban különböznek, hogy a leválasztandó anyag hogyan kerül gőzfázisba, és hogy milyen mérnöki megvalósításokat alkalmaznak. A két alapvető módszer a és a . A megvalósítás hatással lehet arra, hogy a hordozón milyen kémiai összetételű, milyen fizikai tulajdonsággal (pl. sűrűséggel, kristályossággal, kristályiránnyal) jellemezhető réteg alakul ki. Különféle anyagok és hordozók is speciális eljárásokat igényelhetnek. A PVD az ipari és kutatói gyakorlatban elterjedt módszer, amelyet például optikai bevonatok kialakítására, felületkezelésre, egyes mikro-és nanoszerkezetű eszközök gyártására alkalmaznak.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Fizikai_gőzfázisú_leválasztás?oldid=22775118&ns=0
dbo:wikiPageLength
14878
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Fizikai_gőzfázisú_leválasztás
Subject Item
wikipedia-hu:Fizikai_gőzfázisú_leválasztás
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Fizikai_gőzfázisú_leválasztás