This HTML5 document contains 27 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
n21https://www.szfki.hu/~konczos/tanfolyam/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
n15https://web.archive.org/web/20180428012111/http:/fizipedia.bme.hu/index.php/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n19https://s3.amazonaws.com/academia.edu.documents/39870602/
n14http://darkage.org/darkage/letolt/Pdf%20iratok/
n17https://web.archive.org/web/20180428093415/http:/darkage.org/darkage/letolt/Pdf%20iratok/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n4http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n8http://www.cnc.hu/2012/08/szerszam-bevonatolasi-eljarasok/
n9http://fizipedia.bme.hu/index.php/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n18http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n13http://szepes.web.elte.hu/
n11http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:
n12http://titan.physx.u-szeged.hu/tamop411c/public_html/HU%20-%20Optikai%20alapok%20az%20ELI-ALPS%20t%C3%BCkr%C3%A9ben%20I.%20-%20Msc%20(e-learning)/

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Kémiai_gőzfázisú_leválasztás
rdfs:label
Kémiai gőzfázisú leválasztás
dct:subject
n11:Nanotechnológia n11:Ipari_technológia
dbo:wikiPageID
1551626
dbo:wikiPageRevisionID
22939350
dbo:wikiPageExternalLink
n8:%7Ctitle=Szersz%C3%A1m n9:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%7Ctitle=V%C3%A9konyr%C3%A9teg n12:kmiai_gzfzis_levlaszts_cvd.html%7Ctitle=K%C3%A9miai n13:FOKLAB2011_10.pdf%7Ctitle=X. n14:FeluletModositas.pdf%7Caccessdate=2018-04-26%7Cauthor=Bert%C3%B3ti n15:V%C3%A9konyr%C3%A9teg_lev%C3%A1laszt%C3%A1s%7Carchivedate=2018-04-28 n17:FeluletModositas.pdf%7Carchivedate=2018-04-28 n19:Hot_wire_CVD_of_heterogeneous_and_polycr20151110-20227-190o8vb.pdf%3FAWSAccessKeyId=AKIAIWOWYYGZ2Y53UL3A&Expires=1524829287&Signature=UslO5Jqiu8w%2FIo%2BR7ltZAJ%2BCpx0%3D&response-content-disposition=inline%3B%20filename%3DHot_wire_CVD_of_heterogeneous_and_polycr.pdf n21:6.pdf%7Ctitle=6.
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n4:Cite_web n4:Href n4:Portál n4:! n4:Reflist n4:Cite_journal n18:Nanolitográfia n4:H
dbo:abstract
A kémiai gőzfázisú leválasztás (angol rövidítéssel CVD, chemical vapor deposition) a vékonyréteg-leválasztás egy lehetséges módszere, amelyet vékonyrétegek kialakítására alkalmaznak a - és a nanotechnológiában. A CVD-módszerek általános jellemzője az, hogy egy gázfázisban juttatott anyag kémiai reakció eredményeképpen egy hordozó felületére válik le, melyen rétegbevonatot képez. A CVD során a felületen adszorbeálódott atomok reakcióba lépnek, mely lehet például pirolízis, oxidáció vagy reduckió, hidrolízis stb. A kiinduló anyagok atomjainak reakciója következtében létrejövő egyes termékek alakítják ki a felületi réteget, míg más reakciótermékeket elszívással eltávolítanak.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Kémiai_gőzfázisú_leválasztás?oldid=22939350&ns=0
dbo:wikiPageLength
9987
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Kémiai_gőzfázisú_leválasztás
Subject Item
wikipedia-hu:Kémiai_gőzfázisú_leválasztás
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Kémiai_gőzfázisú_leválasztás