This HTML5 document contains 24 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dbpedia-dehttp://de.dbpedia.org/resource/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n14https://web.archive.org/web/20110529095613/http:/www.heraeus-targets.com/en/technology/_sputteringbasics/
freebasehttp://rdf.freebase.com/ns/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n17http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n8https://web.archive.org/web/20110715111812/http:/www.precisionphotonics.com/
owlhttp://www.w3.org/2002/07/owl#
dbpedia-frhttp://fr.dbpedia.org/resource/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
n16http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:Nanotechnológia_navoszlop/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n6https://web.archive.org/web/20110716174940/http:/www.syngraphics.com/
n19http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:
n20https://web.archive.org/web/20091007074507/http:/www.svc.org/H/

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:Katódporlasztás
rdfs:label
Katódporlasztás
owl:sameAs
freebase:m.027x2fp
dct:subject
n19:Nanotechnológia n19:Ipari_technológia
dbo:wikiPageID
806287
dbo:wikiPageRevisionID
22893016
dbo:wikiPageExternalLink
n6:whatsnew_PVD.html n8:vitem_axpd.asp%3Fid=19&itemtype=Technicalpapers n14:sputtering.aspx n20:HISTORYA.PDF
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n16:Nanolitográfia n17:Reflist n17:Cite_book
dbo:wikiPageInterLanguageLink
dbpedia-de:Sputtern dbpedia-fr:Pulvérisation_cathodique
prop-hu:author
William D. Westwood
prop-hu:isbn
0
prop-hu:title
Sputter Deposition, AVS Education Committee Book Series, Vol. 2
prop-hu:year
2003
dbo:abstract
A katódporlasztás vékonyrétegek előállítására szolgáló eljárás. Alapja egy ritkított térben, két elektróda között létrehozott önfenntartó villamos kisülés, plazma létrehozása, ahol az elektronok felgyorsulnak és ütköznek a többnyire nemesgáz atomokkal, amelyekről további elektronokat szakítanak le. Az így keletkezett pozitív ionok az erőtér gyorsításának hatására a katódba csapódnak és amennyiben energiájuk nagyobb a kötési energiánál, atomokat löknek ki onnan. Az így kilökött atomok a katód alatt elhelyezkedő anódon lévő hordozóra csapódnak. A folyamat feltétele a plazma létrejötte.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:Katódporlasztás?oldid=22893016&ns=0
dbo:wikiPageLength
14652
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:Katódporlasztás
Subject Item
wikipedia-hu:Katódporlasztás
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:Katódporlasztás