This HTML5 document contains 37 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
wikipedia-huhttp://hu.wikipedia.org/wiki/
dcthttp://purl.org/dc/terms/
dbohttp://dbpedia.org/ontology/
foafhttp://xmlns.com/foaf/0.1/
n8https://books.google.com/
dbpedia-huhttp://hu.dbpedia.org/resource/
n4http://memscyclopedia.org/
prop-huhttp://hu.dbpedia.org/property/
n12https://www.springer.com/east/home%3FSGWID=5-102-70-1113744-0&changeHeader=true&referer=www.springeronline.com&SHORTCUT=www.springer.com/journal/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n13http://hu.dbpedia.org/resource/Sablon:
n14http://www.microsystems.ru/eng/
provhttp://www.w3.org/ns/prov#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n11http://hu.dbpedia.org/resource/Kategória:

Statements

Subject Item
dbpedia-hu:MEMS
rdfs:label
MEMS
dct:subject
n11:Nanotechnológia
dbo:wikiPageID
1773500
dbo:wikiPageRevisionID
23888711
dbo:wikiPageExternalLink
n4:introMEMS.html n8:books%3Fid=EMyGfH5IgkkC n12:542 n14:conf_news.php%3Fid_table=1&file=102.htm
prop-hu:wikiPageUsesTemplate
n13:Cite_book n13:Fordítás n13:Commons_category n13:Jegyzetek
prop-hu:date
2018-08-10
prop-hu:editor1First
O.
prop-hu:editor1Last
Geschke
prop-hu:editor2First
H.
prop-hu:editor2Last
Klank
prop-hu:first
HB. F.
prop-hu:id
5
prop-hu:isbn
3 9782954201504
prop-hu:last
Liu Chollet
prop-hu:publisher
Wiley
prop-hu:title
Microsystem Engineering of Lab-on-a-chip Devices A short introduction to MEMS
prop-hu:url
n4:introMEMS.html n8:books%3Fid=EMyGfH5IgkkC
prop-hu:year
2004
prop-hu:editor3First
P.
prop-hu:editor3Last
Telleman
dbo:abstract
A mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) (vagy mikroelektronikai és mikroelektromechanikai rendszerek), valamint a kapcsolódó mikromechatronikai és mikrorendszerek a mikroszkopikus méretű, különösen mozgó alkatrészekkel rendelkező eszközök technológiáját alkotják. Ezek a nanoszintű méretekben nanoelektromechanikai rendszerekbe (NEMS) és nanotechnológiába olvadnak össze. A MEMS-eket Japánban mikrogépeknek, Európában pedig mikrorendszer-technológiának (MST) is nevezik. A MEMS-ek 1 és 100 mikrométer (azaz 0,001-0,1 mm) közötti méretű alkatrészekből állnak, és a MEMS-eszközök mérete általában 20 mikrométer és egy milliméter (azaz 0,02-1,0 mm) között mozog, bár a tömbökbe rendezett alkatrészek (pl. digitális mikrotükrös eszközök) mérete meghaladhatja az 1000 mm²-t is. Általában egy központi egységből állnak, amely az adatokat feldolgozza (integrált áramköri chip, például mikroprocesszor), és több, a környezettel kölcsönhatásba lépő komponensből (például mikroérzékelők). A MEMS-ek nagy felület/térfogat aránya miatt a környezeti elektromágnesesség (pl. elektrosztatikus töltések és mágneses momentumok) és a folyadékdinamika (pl. felületi feszültség és viszkozitás) által keltett erők fontosabb tervezési szempontok, mint a nagyobb méretű mechanikus eszközök esetében. A MEMS-technológia abban különbözik a molekuláris nanotechnológiától vagy a molekuláris elektronikától, hogy az utóbbinak a felületi kémiát is figyelembe kell vennie. A nagyon kicsi gépekben rejlő lehetőségeket már azelőtt felismerték, hogy létezett volna az ezek előállítására alkalmas technológia (lásd például Richard Feynman híres 1959-es There's Plenty of Room at the Bottom című előadását). A MEMS-ek akkor váltak gyakorlati hasznosíthatóvá, amikor már elő lehetett állítani őket a módosított félvezetőeszköz-gyártási technológiákkal, amelyeket általában az elektronika előállításához használnak. Ezek közé tartozik az öntés és a galvanizálás, a nedves maratás (KOH, TMAH) és a száraz maratás (RIE és DRIE), az elektromos kisüléses megmunkálás (EDM) és más, kis méretű eszközök gyártására alkalmas technológiák.
prov:wasDerivedFrom
wikipedia-hu:MEMS?oldid=23888711&ns=0
dbo:wikiPageLength
8717
foaf:isPrimaryTopicOf
wikipedia-hu:MEMS
Subject Item
wikipedia-hu:MEMS
foaf:primaryTopic
dbpedia-hu:MEMS